半導体ウェハ - 精密搬送装置・ライン自動化.com

●SERVICE●

半導体ウェハの
搬送サービス

半導体ウェハのような精密・デリケートなワークの搬送でお困りではありませんか？

当社では、半導体ウェハをはじめとした精密ワークの搬送装置の設計・製造を得意としています。長年にわたり培ってきた独自のノウハウと、1µmの世界にこだわる精密な調整技術、そして高い位置決め精度により、搬送ズレや微細なキズを防ぎ、確実でクリーンな自動搬送を実現します。

● 3 FEATURES ●

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ワークにストレスを与えない、確実なハンドリング方法を構築します

半導体ウェハは接触が許されないデリケートな部分が多く、搬送時の保持方法（チャッキング）には非常に高度な技術が求められます。

当社では、最適なチャック場所や保持方法を検討を行い、事前のハンドリング検証を入念に実施します。これにより、半導体ウェハにストレスを与えずに定位置へ搬送させる、安定した運用をご提案します。

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画像位置決め技術を駆使し、高精度な精密搬送を実現します

位置検出カメラ（画像処理技術）を搬送ラインに組み込むことで、ワークのわずかなズレや傾きを瞬時に認識し、位置情報・補正情報をプログラムへリアルタイムに伝えて正確に制御します。

これにより、μmレベルの精度が求められる半導体ウェハの供給・排出工程においても、ミスなく確実な位置決め搬送を自動化します。

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レーザーマーキング等の周辺装置もワンストップで対応します

当社は、搬送装置単体の設計・製造にとどまらず、前後の工程をトータルで自動化するシステムインテグレーターです。

「レーザーマーキング（印字・捺印）」等をはじめとした周辺装置の設計・製造、搬送工程へ組み込みにも柔軟に対応します。お客様のニーズに合わせた最適な搬送ソリューションを提供します。

● case ●

インラインでの低温試験機ハンドラーの導入お客様より、製品の性能試験を−50℃の環境下で評価する自動化設備についてご相談をいただきました。設備...

6軸ロボット導入によるワーク供給の高精度化お客様より「薄物ワークをめっきする際に、ワークにシワがよってしまう」とのご相談をいただきました。...

クリーニング機構活用によるコンタミネーション防止お客様より「半導体デバイス製造工程におけるコンタミ混入を防止したい」とのご相談をいただきました。...

特殊ラバーハンドの活用によるチャッキング時の傷を防止お客様より「アルミ素材の製品において、表面処理前の工程で生じるスリ傷を防ぎ、良品率を維持したまま...

非接触給電の採用によるクリーン環境への配慮お客様より「クリーンルーム内で使用する搬送装置において、衛生状態をより高い水準で維持したい」との...

機種改変に伴う搬送部のシャッター機構の安定化お客様より、現在使用されている装置と同一仕様での製作をご依頼いただきました。その際、当社では単に...

● column ●